EFEM für Halbleiter-Wafer-Handling-Systeme | Chain We

Angepasste EFEM-Systeme für die Halbleiterherstellung. Kompatibel mit FOUP und offenen Kassettentransportanschlüssen, Vakuumspannvorrichtung oder Kantenklemmen-Optionen.

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Equipment Front End Module (EFEM) für die Halbleiter-Wafer-Herstellung

Zuverlässige EFEM-Systeme kompatibel mit FOUP und offenen Kassettentransportanschlüssen für effizientes Wafer-Handling

EFEM für Halbleiter - 4-Port-EFEM für die Halbleiterindustrie
  • EFEM für Halbleiter - 4-Port-EFEM für die Halbleiterindustrie

EFEM für Halbleiter

Das EFEM-System ist eine zuverlässige und effiziente Möglichkeit, Ihre Wafer im Fertigungsprozess von Halbleitern zu handhaben. EFEM für Halbleiter kann mit verschiedenen AOI-Waferinspektionsmaschinen zusammenarbeiten und verschiedene Arten von Ladeports und Wafer-Handhabungsmethoden verwenden.

 

Unsere EFEM-Systeme sind sowohl mit FOUP- als auch mit OPEN CASSETTE-Ladeports kompatibel und können entweder mit Vakuumspannern oder mit Kantenklemmkettengabeln zur Handhabung der Wafer verwendet werden. Sie können auch entsprechend Ihren spezifischen Bedürfnissen und Vorlieben angepasst werden.

 

Wenn Sie an unserem EFEM-System oder einem anderen Produkt interessiert sind, zögern Sie bitte nicht, uns zu kontaktieren. Wir freuen uns, Ihnen weitere Informationen und ein Angebot zur Verfügung zu stellen.

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Wie können wir eine nahtlose Integration zwischen EFEM-Systemen und unserer bestehenden Wafer-Inspektionsausrüstung sicherstellen?

Unsere EFEM-Systeme sind speziell dafür ausgelegt, mit verschiedenen AOI-Wafer-Inspektionsmaschinen zusammenzuarbeiten und unterstützen sowohl FOUP- als auch OPEN-CASSETTE-Ladeports. Mit anpassbaren Konfigurationen, einschließlich Vakuumspannplatten und Kantenklemmkettengabeln, gewährleisten wir eine perfekte Kompatibilität mit Ihrem aktuellen Fertigungssetup. Kontaktieren Sie unser Ingenieurteam für eine detaillierte Integrationsbewertung und ein maßgeschneidertes Lösungsvorschlag.

Mit über 30 Jahren Erfahrung in maßgeschneiderten Fördersystemen und Fabrikautomatisierung bietet Chain We Maschinen umfassende EFEM-Lösungen, die auf Ihre spezifischen Fertigungsanforderungen zugeschnitten sind. Unser hochmodernes Produktionsgebäude mit 14.500 Quadratmetern, ausgestattet mit Industrie 4.0-Technologie, ermöglicht es uns, einen umfassenden Service von der ersten Planung und dem Design über die Herstellung, Installation bis hin zur fortlaufenden Wartungsunterstützung anzubieten. Egal, ob Sie eine Integration mit vorhandenen AOI-Prüfgeräten oder ein vollständig maßgeschneidertes Wafer-Transportsystem benötigen, unser Ingenieurteam ist bereit, die optimale EFEM-Konfiguration für Ihre Bedürfnisse in der Halbleiterfertigung zu entwickeln. Kontaktieren Sie uns noch heute für detaillierte Spezifikationen und ein maßgeschneidertes Angebot.

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