Wie können Sie die Waferkontamination während des Transfers zwischen den Stationen beseitigen?

Unser EFEM-Wafer-Handhabungsmodul verfügt über eine vollständig versiegelte Reinraumumgebung, die Staub- und Partikelkontamination während des Wafertransfers zwischen den Bearbeitungsstationen verhindert. Mit intelligenten Umweltkontrollen und einem kontaminationsfreien Design können Sie die Waferqualitätsstandards aufrechterhalten und gleichzeitig die Fehlerquoten senken. Kontaktieren Sie uns, um zu erfahren, wie unsere bewährte Lösung Ihre hochwertigen Wafer während des gesamten Fertigungsprozesses schützen kann.

Unser EFEM Wafer-Handhabungsmodul, das mit einem flexiblen und modularen Design ausgestattet ist, kann so konfiguriert werden, dass es Ihren spezifischen Layout- und Kapazitätsanforderungen entspricht, was es zu einer idealen Lösung für verschiedene Reinraum-Anwendungen macht. Das benutzerfreundliche und intelligente Steuerungssystem ermöglicht es den Bedienern, Einstellungen einfach anzupassen und die Abläufe in Echtzeit zu überwachen, um optimale Leistung und Effizienz zu gewährleisten. Mit über 30 Jahren Erfahrung in maßgeschneiderten Automatisierungslösungen und modernsten Fertigungsmöglichkeiten bieten wir umfassende Unterstützung von der ersten Planung über die Installation bis hin zur laufenden Wartung und liefern einen kompletten Rundum-Service für Automatisierung, der auf Ihre Bedürfnisse in der Halbleiterfertigung zugeschnitten ist.