設備フロントエンドモジュール | Chain We
装置フロントエンドモジュール（EFEM）は、半導体製造のための高性能で信頼性のあるソリューションです。EFEMはウェーハハンドリングシステムとプロセス装置を接続するモジュールで、ウェーハのロード、アンロード、アライメント、検査などの機能を提供します。EFEMはウェーハハンドリングの効率、精度、安全性を向上させ、汚染や損傷のリスクを低減することができます。 カテゴリ別にコンベヤーソリューションを閲覧し、アプリケーションに適したシステムタイプを迅速に見つけてください。Chain Weは、倉庫、クリーンルーム、組立作業のために製品を整理しています。カテゴリを選択し、選定およびレイアウトのサポートについてお問い合わせください。
EFEM | 半導体 | ウェーハハンドリングシステム | Chain We
設備フロントエンドモジュール
EFEM
装置フロントエンドモジュール（EFEM）は、半導体製造のための高性能で信頼性のあるソリューションです。EFEMはウェーハハンドリングシステムとプロセス装置を接続するモジュールで、ウェーハのロード、アンロード、アライメント、検査などの機能を提供します。EFEMはウェーハハンドリングの効率、精度、安全性を向上させ、汚染や損傷のリスクを低減することができます。
半導体用EFEM
EFEMシステムは、半導体製造プロセスにおいてウェーハを扱うための信頼性が高く効率的な方法です。半導体用EFEMは、さまざまなAOIウェーハ検査機と連携し、異なるタイプのロードポートやウェーハハンドリング方法を使用できます。 私たちのEFEMシステムは、FOUPおよびオープンカセットのロードポートの両方に対応しており、ウェーハを扱うために真空チャックまたはエッジクランプチェーンフォークのいずれかを使用できます。また、特定のニーズや好みに応じてカスタマイズすることも可能です。 私たちのEFEMシステムやその他の製品に興味がある場合は、お気軽にお問い合わせください。より多くの情報と見積もりを喜んで提供いたします。
詳細
EFEMウェーハハンドリングモジュール
EFEMウェーハハンドリングモジュールは、クリーンで制御された環境で異なるモジュールやステーション間でウェーハを移動させる装置です。ウェーハの品質を向上させ、サイクルタイムを短縮し、スペースを節約し、コストを削減するのに役立ちます。
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ダウンロード 設備フロントエンドモジュール | 精密タイミングベルトコンベヤーソリューション | Chain We
より高いスループットとスムーズな材料の流れが必要ですか？Chain Weは、負荷、ライン速度、レイアウトに合わせて設備フロントエンドモジュールを構築し、安定した転送、制御された蓄積、およびセンサーやPLC制御との統合を容易にサポートします。
1988年以降、台湾のChain Weは、組立ラインコンベヤー、ASRS搬送機器、ロボットパレタイズ統合、パレットディスペンサー、プロジェクトベースのシステムエンジニアリングを含むカスタマイズされたコンベヤーシステムと自動化ソリューションを提供してきました。
典型的な用途には、半導体および電子機器ライン、パネル製造、物流および自動化倉庫、さらに医療、食品、紙、そして自動車業務が含まれ、チームが手作業を減らし、生産を一貫して維持するのを助けています。
