EFEMウェーハハンドリングモジュール
EFEMウェーハハンドリングモジュールは、クリーンで制御された環境で異なるモジュールやステーション間でウェーハを移動させる装置です。ウェーハの品質を向上させ、サイクルタイムを短縮し、スペースを節約し、コストを削減するのに役立ちます。
特徴と利点
- 当社のEFEMウェーハハンドリングモジュールは、既存のAOIウェーハ検査機に簡単に統合でき、さまざまな検査方法や基準に対応できます。
- 当社のEFEMウェーハハンドリングモジュールは、レイアウトや容量要件に合わせて構成できる柔軟でモジュール式の設計です。
- 当社のEFEMウェーハハンドリングモジュールは、設定を調整し、操作を監視できるユーザーフレンドリーでインテリジェントな制御システムを備えています。
- 私たちのEFEMウェーハハンドリングモジュールは、ほこりや汚染を防ぐクリーンで密閉された環境を提供します。
私たちのEFEMウェーハハンドリングモジュールやその他の製品に興味がある場合は、お気軽にお問い合わせください。
より多くの情報と見積もりを喜んで提供いたします。
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半導体用EFEM
EFEMシステムは、半導体製造プロセスにおいてウェーハを扱うための信頼性が高く効率的な方法です。半導体用EFEMは、さまざまなAOIウェーハ検査機と連携し、異なるタイプのロードポートやウェーハハンドリング方法を使用できます。 私たちのEFEMシステムは、FOUPおよびオープンカセットのロードポートの両方に対応しており、ウェーハを扱うために真空チャックまたはエッジクランプチェーンフォークのいずれかを使用できます。また、特定のニーズや好みに応じてカスタマイズすることも可能です。 私たちのEFEMシステムやその他の製品に興味がある場合は、お気軽にお問い合わせください。より多くの情報と見積もりを喜んで提供いたします。
詳細
EFEMウェーハハンドリングモジュール | Chain We
より高いスループットとスムーズな材料の流れが必要ですか?Chain Weは、負荷、ライン速度、レイアウトに合わせてEFEMウェーハハンドリングモジュールを構築し、安定した転送、制御された蓄積、およびセンサーやPLC制御との統合を容易にサポートします。
1988年以降、台湾のChain Weは、組立ラインコンベヤー、ASRS搬送機器、ロボットパレタイズ統合、パレットディスペンサー、プロジェクトベースのシステムエンジニアリングを含むカスタマイズされたコンベヤーシステムと自動化ソリューションを提供してきました。
典型的な用途には、半導体および電子機器ライン、パネル製造、物流および自動化倉庫、さらに医療、食品、紙、そして自動車業務が含まれ、チームが手作業を減らし、生産を一貫して維持するのを助けています。



